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产品参数 

型号:18FL自动光刻机

产能:每个工位5~15 S左右,根据需要可调整

控制系统:PLC+HMI

数码显微镜:2台

液晶显示屏:2台

电源:AC220V  50HZ

压缩空气:0.7mpa

320W真空泵:根据客户需要是否安装

外观尺寸 长*宽*高:1240mm*1160mm*1660mm

       

用途介绍

       机器通过 3 个环形均布的工位放置待光刻硅片,使硅片自动进入指定

曝光位置,用冷光源双面曝光。采用自行曝光方式,减少对硅片的沾污和

损伤,玻光刻板专用,上、下玻璃光刻板真空吸附,对板精确。


产品优点

       绿色环保冷光源;单、双向曝光均可;一次曝光理论产能为360片/小

时;节省人工,提高效率。


应用范围

       自动光刻机适用于各种尺寸GPP芯片。


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