产品参数 

型号：18FL自动光刻机

产能：每个工位5~15 S左右，根据需要可调整

控制系统：PLC+HMI

数码显微镜：2台

液晶显示屏：2台

电源：AC220V  50HZ

压缩空气：0.7mpa

320W真空泵：根据客户需要是否安装

外观尺寸 长*宽*高：1240mm*1160mm*1660mm

用途介绍

       机器通过 3 个环形均布的工位放置待光刻硅片，使硅片自动进入指定

曝光位置，用冷光源双面曝光。采用自行曝光方式，减少对硅片的沾污和

损伤，玻璃光刻板专用，上、下玻璃光刻板真空吸附，对板精确。

产品优点

       绿色环保冷光源；单、双向曝光均可；一次曝光理论产能为360片/小

时；节省人工，提高效率。

应用范围

       自动光刻机适用于各种尺寸GPP芯片。