产品参数
型号:18FL自动光刻机
产能:每个工位5~15 S左右,根据需要可调整
控制系统:PLC+HMI
数码显微镜:2台
液晶显示屏:2台
电源:AC220V 50HZ
压缩空气:0.7mpa
320W真空泵:根据客户需要是否安装
外观尺寸 长*宽*高:1240mm*1160mm*1660mm
用途介绍
机器通过 3 个环形均布的工位放置待光刻硅片,使硅片自动进入指定
曝光位置,用冷光源双面曝光。采用自行曝光方式,减少对硅片的沾污和
损伤,玻璃光刻板专用,上、下玻璃光刻板真空吸附,对板精确。
产品优点
绿色环保冷光源;单、双向曝光均可;一次曝光理论产能为360片/小
时;节省人工,提高效率。
应用范围
自动光刻机适用于各种尺寸GPP芯片。