产品参数

型号：晶圆清洗机

产能：每片20~40 S左右

控制系统：自动

电源：AC220V/3A

压缩空气或氮气：0.7mpa

用途介绍

       主要用于砂轮划片机晶圆切割后，在硅片清洗机上，通过喷纯

净水和喷气的方式，清理晶圆上残留物。通过更换硅片承载台可以

适用6英寸以下晶圆。

工作方式

       把晶圆放在承载台上，按启动按钮，自动开启真空，吸住晶圆，

上方摆臂开始摆动，带动喷嘴向晶圆上喷高压水及氮气，同时承载

台转动，通过离心力把水甩出。整机通过PLC及HMI操作和全自动

控制。摆臂频率、承载台转速、喷水喷气时间均受PLC程序控制可

调。水压气压手动可调。