产品参数
型号:晶圆清洗机
产能:每片20~40 S左右
控制系统:自动
电源:AC220V/3A
压缩空气或氮气:0.7mpa
用途介绍
主要用于砂轮划片机晶圆切割后,在硅片清洗机上,通过喷纯
净水和喷气的方式,清理晶圆上残留物。通过更换硅片承载台可以
适用6英寸以下晶圆。
工作方式
把晶圆放在承载台上,按启动按钮,自动开启真空,吸住晶圆,
上方摆臂开始摆动,带动喷嘴向晶圆上喷高压水及氮气,同时承载
台转动,通过离心力把水甩出。整机通过PLC及HMI操作和全自动
控制。摆臂频率、承载台转速、喷水喷气时间均受PLC程序控制可
调。水压气压手动可调。