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产品参数 

型号:五英寸全自动单沟槽刻蚀机

产能:200片/小时

控制系统:PLC+HMI

液晶显示屏:1台

制冷机:五匹制冷机组

电源:AC380V 50HZ

压缩空气:0.7mpa

外观尺寸长*宽*高:1280mm*1280mm*1880mm

       

用途介绍

硅片的沟槽腐蚀


产品优点

制冷效果好;腐蚀均匀;理论产能200片/小时


应用范围

6英寸以下硅片沟槽的蚀刻    




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