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产品参数
型号:五英寸全自动单沟槽刻蚀机
产能:200片/小时
控制系统:PLC+HMI
液晶显示屏:1台
制冷机:五匹制冷机组
电源:AC380V 50HZ
压缩空气:0.7mpa
外观尺寸长*宽*高:1280mm*1280mm*1880mm
用途介绍
硅片的沟槽腐蚀
产品优点
制冷效果好;腐蚀均匀;理论产能200片/小时
应用范围
6英寸以下硅片沟槽的蚀刻
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