产品参数 

型号：五英寸全自动单沟槽刻蚀机

产能：200片/小时

控制系统：PLC+HMI

液晶显示屏：1台

制冷机：五匹制冷机组

电源：AC380V 50HZ

压缩空气：0.7mpa

外观尺寸长*宽*高：1280mm*1280mm*1880mm

用途介绍

硅片的沟槽腐蚀

产品优点

制冷效果好；腐蚀均匀；理论产能200片/小时

应用范围

6英寸以下硅片沟槽的蚀刻